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HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度HEIDENHAIN海(hai)(hai)德漢(han)特(te)殊的(de)(de)生(sheng)(sheng)產(chan)設施和測(ce)量設備(bei)造就了海(hai)(hai)德漢(han)的(de)(de)高質量產(chan)品(pin)。光刻的(de)(de)主要和次主要生(sheng)(sheng)產(chan)過程都(dou)是在(zai)潔(jie)(jie)凈室里(li)完成(cheng)的(de)(de)，在(zai)潔(jie)(jie)凈室里(li)配備(bei)了特(te)殊的(de)(de)溫度穩定和防振動隔離裝(zhuang)置(zhi)。仿(fang)形機和其它生(sheng)(sheng)產(chan)直線和角度刻線用(yong)的(de)(de)機械設備(bei)都(dou)是由海(hai)(hai)德漢(han)自己研發和制造的(de)(de)。
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
HEIDENHAIN海德漢特殊的生產設施和測量設備造就了海德漢的高質量產品。光刻的主要和次主要生產過程都是在潔凈室里完成的，在潔凈室里配備了特殊的溫度穩定和防振動隔離裝置。仿形機和其它生產直線和角度刻線用的機械設備都是由海德漢自己研發和制造的。
HEIDENHAIN海德漢封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機床的理想選擇。
敞開式光柵(zha)尺與讀數(shu)頭和(he)(he)(he)光柵(zha)尺或(huo)鋼(gang)帶間沒有機械接(jie)觸。這些光柵(zha)尺的典型應用(yong)包括：測量機、比較儀和(he)(he)(he)其它長度(du)計量精密設備(bei)以及生(sheng)產和(he)(he)(he)測量設備(bei)，例如用(yong)在半導體工業中。
增(zeng)量式(shi)光柵尺(chi)決定當(dang)前位置的(de)方式(shi)是由原(yuan)點(dian)開(kai)始數測(ce)量步距(ju)或細分電路(lu)的(de)計數信號(hao)數量。海德漢的(de)增(zeng)量式(shi)光柵尺(chi)帶有參(can)考點(dian)，開(kai)機時必須執行參(can)考點(dian)回(hui)零，操作非常簡單、快捷(jie)。
式光柵(zha)尺無需(xu)執行參考點(dian)回零操作就能直接提供當前位置值。光柵(zha)尺的位置值通過(guo)EnDat接口(kou)或其它串行接口(kou)傳輸。
敞開式直(zhi)線(xian)光柵(zha)尺
敞(chang)開式直線(xian)光柵尺(chi)設計用于(yu)對測量精度要求*的機床(chuang)和(he)系統。
典型應(ying)用包(bao)括：
半導體業的測量和生產設備
PCB電路板(ban)組裝(zhuang)機(ji)
超高精度機床
高(gao)精度機床
測量(liang)機(ji)和(he)比較儀，測量(liang)顯微(wei)鏡和(he)其它精密測量(liang)設備(bei)
直驅(qu)電機
HEIDENHAIN海德漢光柵尺規格 |
LC 195 S |
LC 195 S |
LC 195 F |
LC 195 M |
測量(liang)標準 線膨(peng)脹系數 | 帶軌道(dao)(dao)和增量軌道(dao)(dao)的Diadur玻(bo)璃秤，光柵(zha)周(zhou)期(qi)20微(wei)米(mi) αtherm？8 x 10–6 k–1 | |||
精度等級(ji)* | 測量長(chang)度(du)為±3微米(mi)至3040毫米(mi)；±5微米(mi) | |||
測(ce)量(liang)長度ml*in mm | 140 240 340 440 540 640 740 840 940 1040 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240 | |||
功能安全 適用于以(yi)下應(ying)用程序 |
| – | ||
PFH | 25 x 10–9; ML > 3040 mm: 40 x 10–9 (海(hai)拔高(gao)達1000米) | – | ||
安全位置(zhi)1) | 編碼器：±550μm；ml>3040 m m：±2050μm （安全相關測量(liang)步驟sm=220μm） | – | ||
機械連接：外殼(ke)和掃描裝置(zhi)松動故障排除(chu)（第21頁(ye)） | ||||
界面 | DRIVE-CLiQ | Fanuc串行(xing)接(jie)口/αi接(jie)口 | 三菱高速接口 | |
訂購(gou)名稱 | DQ01 | Fanuc05 | Mit03-04 | |
測量步驟 At ±3 µm At ±5 µm |
0.001 µm 0.010 µm | αI接口/α接口 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm |
0.001 µm 0.010 µm | |
時(shi)鐘頻率（計算時(shi)間(jian)TCAL） | – | |||
電氣連接 | 分離可在(zai)兩(liang)側(ce)連接到安裝塊的適配器電纜（1 m/3 m/6 m/9 m） | |||
電纜長(chang)度 | ≤ 30 m2) | ≤ 50 m | ≤ 30 m | |
電壓供應 | DC 10 V to 28.8 V | DC 3.6 V to 14 V | ||
功耗（大） | 10 V: ≤ ;1.5 W; 28.8 V: ≤ 1.7 W | 3.6 V: ≤ 1.1 W; 14 V: ≤ 1.3 W | ||
橫移速度 | ≤ 180 m/min (max. acceleration ≤ 100 m/s2) | |||
所(suo)需移動(dong)力 | ≤ 4 N | |||
振動55赫茲至2000赫茲 沖擊11毫秒 | 外殼：≤200 m/s2（EN 60 068-2-6） 掃(sao)描單元：≤200 m/s2（EN 60 068-2-6） ≤300 m/s2（EN 60 068-2-27） | |||
工作溫度 | 0 °C to 50 °C | |||
保護(hu)EN 60 5293） | 當根據(ju)手冊說明安裝時，防護等級為(wei)(wei)IP53，防護等級為(wei)(wei)IP64，密封空(kong)氣來自(zi)DA 400。 | |||
質量 | 0.55 kg+2.9 kg/m測量長度 | |||
*訂購時(shi)請選擇 1）位置值比較后(hou)，后(hou)續電子(zi)(zi)設備(bei)中可能會出現進(jin)一步的(de)公(gong)差（聯系后(hou)續電子(zi)(zi)設備(bei)的(de)制造商） 2）根(gen)據要求延長(chang)電纜(lan)長(chang)度(du) 3）在應用中，LC必須防(fang)止顆(ke)粒和液體侵入。 | ||||
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
